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日本ULVAC愛發(fā)科自動(dòng)型光譜橢偏儀

簡要描述:
日本ULVAC愛發(fā)科自動(dòng)型光譜橢偏儀
“Model:UNECS" 是一種光譜橢偏儀,可快速準(zhǔn)確地測量薄膜的折射率和厚度。它采用du 特的測量方法,實(shí)現(xiàn)了緊湊的尺寸和高速的測量。
3 種型號(hào)可用于 Φ150、200 和 300 mm 樣品。自動(dòng)映射 R-θ 載物臺(tái)和自動(dòng)對焦功能可以測量整個(gè)樣品表面的薄膜厚度,并通過彩圖顯示薄膜厚度分布。

更新時(shí)間:2025-06-26

訪問量:72

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

型號(hào):UNECS-1500A

品牌ULVAC/日本愛發(fā)科產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科自動(dòng)型光譜橢偏儀

日本ULVAC愛發(fā)科自動(dòng)型光譜橢偏儀


特征

高速測量:實(shí)現(xiàn)快照測量方式,高速測量每點(diǎn) 20ms。

可見光譜范圍:可以選擇光譜波長范圍。標(biāo)準(zhǔn)型為 530nm 至 750nm,可見光譜型為 380nm~760nm。

緊湊型傳感器單元:傳感器單元重量輕且非常緊湊。它由一個(gè)沒有任何旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)元件組成。此外,無需任何定期維護(hù)。

強(qiáng)大的產(chǎn)品線:擁有強(qiáng)大的產(chǎn)品線,包括便攜式、手動(dòng)/自動(dòng)載物臺(tái)型、內(nèi)置式和大型基板型等。

應(yīng)用

  • 測量透明或半透明的薄膜厚度 (D)、反射指數(shù) (N) 和消光系數(shù) (K)。(氧化膜、氮化物膜、光刻膠膜、ITO 膜等)

規(guī)格

1500 安培2000 安培3000 安培
波長范圍530 至 750 納米或 380 至 760 納米
光斑尺寸Φ1mm 或 Φ0.3mm
入射角70°
薄膜厚度可重復(fù)性1σ = 0.1納米
膜厚測量范圍1納米~2微米
測量時(shí)間采樣時(shí)間 : 20ms 至 3000ms 分析時(shí)間 : 300ms
樣品臺(tái)Φ150毫米Φ200毫米Φ300毫米
最大自動(dòng)可測量積分200點(diǎn)200點(diǎn)2,000點(diǎn)
控制 PC筆記本電腦,包括分析軟件
配置測量單位。控制單元。控制 PC(筆記本電腦型)和作手冊 (CD)。



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